Lähes kaikki kaasuihin liittyvä elektroniikan käsittely tapahtuu kammioiden sisällä, jotka edellyttävät prosessireseptin tarkkaa hallintaa. Esimerkiksi happea ja vetyä käytetään usein hehkutusprosessin aikana reagoimaan olemassa olevien kerrosten kanssa, mikä luo uuden oksidi- tai hydridikerroksen olemassa olevan ohutkalvon pinnalle.
Joissakin prosessireseptin osissa happi voi kuitenkin aiheuttaa ongelmia. Tällöin kaasufaasikemiallisten reaktioiden ilman saastumisen poistamisesta tulee ensisijainen tavoite. Tämä mittaa O2-jäljen tarkan mittauksen, mikä voi myös toimia keinona havaita ilmakehän vuotoja kammiossa, joka on yksi kriittisistä prosessin parametreista, joita on seurattava ja kirjattava. Kun tiedät tarkalleen hapen määrän prosessissa, saat tarvitsemasi tiedot korkeimman laadun ja tuotteen suorituskyvyn varmistamiseksi.
Siellä voimme auttaa. Hyvin puhtaat O2-jäljitysanalysaattorimme sisältävät nopean vasteen zirkoniumoksidianturin ja mittausalueen ppm - prosentti tai ppb - prosentti O2. Tämän erittäin nopean vasteen ja korkean tarkkuuden ansiosta näillä analysaattoreilla on kyky mitata O2 pitoisuuksien suurten muutosten kautta ja mitata O2: n ppm-pitoisuudet sekunneissa ilman altistumisen jälkeen.
Toinen tapa, jolla voimme auttaa, on huoneen O2-puutteen seuranta. Typpi on yleisimmin käytetty kaasu elektroniikan valmistuksessa. Vaikka sitä voidaan käyttää prosessikaasuna, sitä käytetään yleisemmin inerttiin ja puhdistukseen, mukaan lukien suuret määrät tyhjiöjärjestelmien ja jätteenpoistojärjestelmien puhdistamiseen. Kaikki N2 voi aiheuttaa vaarallisia olosuhteita, jos sinulla on järkyttynyt tila.
O2-puutevalvontalaitteemme voivat auttaa sinua suojaamaan työntekijöitäsi varmistamalla, että hengitysilman happitasot ovat turvallisia. Nämä prosenttimääräiset O2-analysaattorit seuraavat tarkasti työympäristöäsi vaarallisten hengitysilman altistumiseen liittyvien terveyshaittojen varalta.
Olemme hyvin tietoisia haasteista, joita kohtaat kriittisten prosessiparametrien mittaamisessa ja mitä tarvitaan laatu- ja turvallisuustavoitteidesi saavuttamiseksi. Tiimimme asiantuntemuksen avulla voimme edelleen auttaa yrityksiä toimimaan älykkäämmin, turvallisemmin ja taloudellisemmin.
Riippumatta siitä, haluatko seurata tarkemmin järjestelmiesi happitasoja tai suojella työntekijöitäsi varmistamalla, että hengitysilman taso on turvallinen, voit luottaa meihin.