Næsten al elektronikbehandling, der involverer gasser, finder sted inde i kamre, der kræver nøjagtig kontrol af procesopskriften. Som et eksempel anvendes ilt og hydrogen ofte under udglødningsprocessen til at reagere med eksisterende lag, hvilket skaber et nyt oxid- eller hydridlag på overfladen af en eksisterende tynd film.
I nogle dele af procesopskriften kan ilt imidlertid forårsage problemer. I dette tilfælde bliver eliminering af atmosfærisk forurening af gasfasens kemiske reaktioner en prioritet. Det gør nøjagtig måling af spor O2-niveauer, som også kan tjene som et middel til at detektere atmosfæriske lækager i kammeret, en af kritiske procesparametre, der skal overvåges og registreres. At vide nøjagtigt, hvad iltniveauerne er i processen, giver dig de oplysninger, du har brug for, for at sikre den højeste kvalitet og produktets ydeevne.
Det er her, vi kan hjælpe. Vores sporings-O2-analysatorer med høj renhed har en hurtig reaktions-zirconiumoxidsensor og et måleområde på ppm til procent eller ppb til procent O2. Med denne ekstremt hurtige respons og høje nøjagtighed har disse analysatorer evnen til at måle O2 gennem store trinændringer i koncentration og måle ppm koncentrationer af O2 inden for få sekunder efter udsættelse for luft.
En anden måde, vi kan hjælpe på, er overvågning af rum-O2-mangel. Kvælstof er den mest anvendte gas inden for elektronikproduktion. Selvom det kan bruges som en procesgas, bruges det mere almindeligt til inaktivering og udrensning, herunder store mængder til udrensning af vakuumsystemer og affaldsreduktionssystemer. Alt det N2 kan forårsage usikre forhold, hvis du har en forstyrret tilstand.
Vores O2-mangelmonitorer kan hjælpe dig med at beskytte dine medarbejdere ved at sikre, at iltniveauerne i luften er sikre. Disse procentvise O2-analysatorer overvåger nøje dit arbejdspladsmiljø for sundhedsfarer forbundet med udsættelse for usikker vejrtrækningsluft.
Vi er meget opmærksomme på de udfordringer, du står over for, når det gælder måling af kritiske procesparametre, og hvad der kræves for at nå dine kvalitets- og sikkerhedsmål. Gennem vores teams ekspertise er vi i stand til at fortsætte med at hjælpe virksomheder med at fungere smartere, sikrere og mere økonomisk.
Uanset om du har brug for nøjere at overvåge iltniveauerne i dine systemer eller beskytte dine medarbejdere ved at sikre, at vejrtrækningsniveauet er sikkert, kan du stole på os.
